製品紹介
耐熱性、透明、低吸湿、溶剤可溶性が特長のポリマー
重合技術と機能性モノマー設計により、脂環式骨格を主骨格とする機能性ポリマーの開発・販売を行います。
脂環式骨格由来の特徴は、高透明性、高Tg（ガラス転移点）、高剛性、低誘電率、低吸水率などがあげられます。
その脂環式ポリマーに共重合技術で付与する追加機能として、耐溶剤性、現像性、架橋基による硬化性、柔軟性などによりユニークな特徴を持つポリマーとなります。
事例
耐熱性材料への貢献
ポストアクリルポリマー
●アクリルでは足りない耐熱性
耐熱性光学材料
●耐熱性・透明性両立
特長
- ・高い熱安定性(高Tg)
- ・光線透過率に優れている
- ・低吸水
脂環式骨格由来の性質により、高い熱安定性、低吸水性、さらに光線透過率に優れているなどの特徴を持っています。
脂環式モノマーによる付加重合体は剛直な構造により優れた脂環式骨格の性質を発現することができ、さらにガラス転移点が250度以上と高い耐熱性を示します。また、異種モノマーと共重合させることでガラス転移点を上下に制御することも可能です。
用途
展開用途例
- 半導体用途
- 表示体用途
- センサー用途
- 医療・食品業界
- 各種コーティング用途
側鎖官能基をご用途に合わせて設計することで、目的の機能が得られます。
例えばレジスト用途に適切な官能基を導入する事で、ポジ型や、ネガ型のアルカリ現像可能なパターニング用材料への適用が可能です。
用途に合わせた使用例紹介（１）
ポジ型感光膜
- ・高透明性
- ・低誘電
- ・耐熱フロー性
ポジ型感応膜として半導体や、表示体、半導体などのフォトレジスト用に使用することができ、感光剤を添加することでポジ型レジストとして機能を発現します。官能基にアルカリ可溶性や溶剤可溶性の置換基を導入することで、アルカリ現像することができます。
| Item | Condition | COP(1) |
|---|---|---|
| 感度 | mJ/cm2 | 580 |
| 残膜率 | %（硬化後） | 88 |
| 透過率（%T） | 硬化後 λ=400nm | 92% |
| 誘電率 | 100kHz | 2.9 |
| 熱安定性 | TGA 250℃ 60min | 1.3 |
| 吸水率 | RT H2O immersion | 0.7% |
| (測定条件) Substrate：Glass FT：2.5μm PAB:100℃, 120sec Exposure：GH line stepper Dev.：2.38%TMAH, 90sec, 23℃ Cure：230℃, 30min |
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注記
- 本カタログ記載の数値は代表値です
用途に合わせた使用例紹介（2）
ネガ型感光膜
- ・光硬化性
- ・高透明性
- ・高耐熱性
マスクを介してUVを照射する事で架橋剤と反応し、硬化をさせる事が出来ます。 露光後にアルカリ現像を行う事でネガ型のパターン形成が可能となります。
ネガ型感光膜として半導体や、表示体などのフォトレジスト用に使用することができ、ネガ型レジストとして有効な機能を発現します。官能基にアルカリ可溶性や架橋性基を付けることでネガタイプレジスト用樹脂として機能を発現します。
マスクを介してUVを照射することで、光架橋性の硬化反応も適用可能です。露光後にアルカリ現像を行うことで、ネガ型のパターン形成ができます。
| Item | Condition | data |
|---|---|---|
| 残膜率（硬化後） | 230℃, 60min in Air | 84% |
| 光線透過率 | 230℃, 60min λ=400nm | 89% |
| TGA | Td5, degC | 309 |
| (測定条件) |
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注記
- 本カタログ記載の数値は代表値です